(21)	201290998 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2011.03.28
(51)	G01N 21/958 (2006.01)
(31)	1052477
(32)	2010.04.01
(33)	FR
(86)	PCT/FR2011/050675
(87)	WO 2011/121219 2011.10.06
(71)	СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR)
(72)	Пишон Мишель, Давенн Франк (FR)
(74)	Медведев В.Н. (RU)
(54)	СПОСОБ И УСТРОЙСТВО АНАЛИЗА ОПТИЧЕСКОГО КАЧЕСТВА ПРОЗРАЧНОЙ ПОДЛОЖКИ

(57) Это устройство (1) анализа прозрачной поверхности подложки (2) содержит миру (10), располагаемую напротив поверхности измеряемой подложки. Мира сформирована на носителе (11) с малой и большой протяженностью. Предусмотрена камера (3) для получения по меньшей мере одного изображения миры, деформированного измеряемой подложкой. С камерой (3) связаны система (4) освещения миры и средства (5) цифровой обработки изображения и анализа. Носитель (11) имеет вытянутую форму, мира является однонаправленной и представляет собой рисунок (10), расположенный вдоль наименьшей протяженности носителя. Рисунок (10) является периодическим поперечно к малой протяженности, и камера является линейной.