(21)	201290818 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2011.02.22
(51)	C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/56 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C30B 23/00 (2006.01) C30B 29/48 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01)
(31)	10154378.3
(32)	2010.02.23
(33)	EP
(86)	PCT/EP2011/052609
(87)	WO 2011/104235 2011.09.01
(71)	СЭН ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR)
(72)	Пальм Йорг, Польнер Штефан, Йост Штефан, Хапп Томас (DE)
(74)	Медведев В.Н. (RU)
(54)	УСТРОЙСТВА И СПОСОБ ДЛЯ ОСАЖДЕНИЯ СЛОЯ НА ПОДЛОЖКЕ

(57) Изобретение относится к устройству для осаждения состоящего по меньшей мере из двух компонентов слоя на предмете (20), содержащему камеру (11) осаждения для расположения предмета (20), по меньшей мере один источник (12) с подлежащим осаждению материалом, а также по меньшей мере одно приспособление (40) для управления процессом осаждения, которое выполнено так, что обеспечивается возможность изменения концентрации по меньшей мере одного компонента подлежащего осаждению материала в его газовой фазе перед осаждением на подложку посредством избирательного связывания определенного количества указанного по меньшей мере одного компонента, при этом обеспечивается возможность управления избирательно связанным количеством указанного по меньшей мере одного компонента посредством изменения по меньшей мере одного параметра управления, функционально связанного со скоростью связывания компонента. Изобретение относится также к устройству для осаждения состоящего по меньшей мере из двух компонентов слоя на предмете, в котором приспособление для управления процессом осаждения имеет по меньшей мере один геттерный элемент из реактивного материала, при этом реактивный материал содержит медь и/или молибден. Изобретение относится также к способу осаждения состоящего по меньшей мере из двух компонентов слоя на предмете, в котором избирательно связываемым количеством по меньшей мере одного компонента управляют посредством изменения скорости связывания приспособления для управления процессом осаждения.