(21)	201101293 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2011.09.07
(51)	C01B 31/02 (2006.01) B82Y 40/00 (2011.01)
(96)	2011000122 (RU) 2011.09.07
(71)	ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ БЮДЖЕТНОЕ УЧРЕЖДЕНИЕ "НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННЫЙ КОМПЛЕКС "ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ЦЕНТР" МИЭТ" (RU)
(72)	Сауров Александр Николаевич, Басаев Александр Сергеевич, Галперин Вячеслав Александрович, Павлов Александр Александрович (RU), Шаман Юрий Петрович (BY), Шаманаев Сергей Владимирович (RU)
(74)	Андреева М.Ю. (RU)
(54)	СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ МАССИВОВ УГЛЕРОДНЫХ НАНОТРУБОК

(57) Изобретение относится к области технологии изготовления углеродных наноструктур и может быть использовано в вакуумной микроэлектронике в качестве базовой технологии изготовления полевых катодов. Способ формирования массивов углеродных нанорубок (УНТ) с заданной плотностью УНТ в массиве включает следующие операции: формирование на поверхности подложки буферного слоя, над ним формирование функционального слоя, содержащего катализатор роста УНТ или активатор распада металлорганического соединения, формирование литографией топологического рисунка, затем проведение ионной и/или радикальной обработки поверхности функционального слоя, введение подложки в реактор, подачу газа-носителя, подачу углеродсодержащего газа и/или раствора металлорганического соединения путем инжекции, распыления или атомизации. Технический результат заключается в обеспечении возможности формирования массивов УНТ с заданной плотностью с высокой воспроизводимостью результатов.