(21)	201290686 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2011.02.22
(51)	H01L 21/673 (2006.01)
(31)	10154363.5
(32)	2010.02.23
(33)	EP
(86)	PCT/EP2011/052597
(87)	WO 2011/104231 2011.09.01
(71)	СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR)
(72)	Пальм Йорг, Фюрфангер Мартин, Хартвих Джессика, Йост Штефан (DE)
(74)	Медведев В.Н. (RU)
(54)	УСТРОЙСТВО ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ УМЕНЬШЕННОГО ПРОСТРАНСТВА КАМЕРЫ, А ТАКЖЕ СПОСОБ ПОЗИЦИОНИРОВАНИЯ МНОГОСЛОЙНЫХ ЭЛЕМЕНТОВ

(57) Изобретение относится к устройству для формирования уменьшенного пространства камеры, например обрабатывающему боксу или колпаку для проведения обработки, которое располагает устройством для позиционирования по меньшей мере двух многослойных элементов, соответственно, по меньшей мере с одной обрабатываемой поверхностью, причем устройство выполнено таким образом, что многослойные элементы являются противолежащими, причем обрабатываемые поверхности обращены в противоположные стороны друг от друга так, что многослойные элементы могут быть обработаны в одной обрабатывающей установке в виде системы многослойных элементов. Кроме того, оно относится к способу позиционирования по меньшей мере двух многослойных элементов, соответственно, по меньшей мере с одной обрабатываемой поверхностью, в котором два многослойных элемента размещены в таком устройстве для формирования уменьшенного пространства камеры таким образом, что многослойные элементы являются противолежащими, причем обрабатываемые поверхности обращены в противоположные стороны друг от друга так, что по меньшей мере два предмета могут быть обработаны в одной обрабатывающей установке в виде системы многослойных элементов.