| |
(21) | 201290412 (13) A1 |
Разделы: A B C D E F G H |
(22) | 2010.11.24 |
(51) | C03C 15/00 (2006.01) C03C 14/00 (2006.01) C03C 21/00 (2006.01) |
(31) | 09/05805 |
(32) | 2009.12.01 |
(33) | FR |
(86) | PCT/FR2010/052507 |
(87) | WO 2011/067511 2011.06.09 |
(71) | СЭН-ГОБЭН ГЛАСС ФРАНС (FR) |
(72) | Зондергард Элин, Ле Руа Себастьен, Летайер Альбан, Бартель Этьен, Мань Констанс (FR) |
(74) | Медведев В.Н. (RU) |
(54) | СПОСОБ СТРУКТУРИРОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ИОННЫМ ТРАВЛЕНИЕМ, СТРУКТУРИРОВАННАЯ ПОВЕРХНОСТЬ И ПРИМЕНЕНИЯ |
(57) Изобретение относится к способу структурирования поверхности, т.е. формирования по меньшей мере одной совокупности неоднородностей или структурных элементов (2) с субмикронной высотой Н и по меньшей мере одним микронным или субмикронным характерным поперечным размером W, называемым шириной, на поверхности материала (1), в частности стекла, путем ионного травления пучком ионов, необязательно нейтрализованным, отличающемуся тем, что он включает следующие этапы: предоставление упомянутого материала с толщиной, по меньшей мере равной 100 нм, причем материал является твердым гибридным и содержащим простой или смешанный оксид элемента(ов), причем мольное процентное содержание оксида в материале составляет по меньшей мере 40%, в частности между 40 и 94%; и по меньшей мере одно вещество другой природы, чем элемент или элементы оксида, и являющееся, в частности, металлом, причем мольное процентное содержание веществ(а) в материале составляет от 6 до 50 мол.% и ниже процентного содержания упомянутого оксида, причем по меньшей мере большая часть вещества имеет наибольший характерный размер менее 50 нм, в частности, упомянутый гибридный материал является метастабильным перед упомянутым травлением; необязательный нагрев упомянутого гибридного материала перед упомянутым травлением; структурирование поверхности упомянутого гибридного материала при продолжительности травления менее одного часа на поверхности травления более 1 см2 до тех пор, пока не будет сформирована упомянутая совокупность структурных элементов, причем структурирование необязательно сопровождается нагреванием гибридного материала.
|