(21)	201190201 (13) A1	Разделы: A B C D E F G H
(22)	2010.03.25
(51)	C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) B01J 2/00 (2006.01)
(31)	20095307
(32)	2009.03.25
(33)	FI
(86)	PCT/FI2010/050234
(87)	WO 2010/109076 2010.09.30
(71)	БЕНЕК ОЙ (FI)
(72)	Маула Ярмо (FI)
(74)	Поликарпов А.В. (RU)
(54)	СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ

(57) Изобретение относится к способу и устройству для нанесения покрытий на один или более объектов (1) путем проведения попеременно повторяющихся поверхностных реакций объекта (1) с одним или более газообразными предшественниками. Устройство включает реакционную камеру (2, 40), средства формирования по меньшей мере одной отдельной области предшественника внутри реакционной камеры и средства приведения объекта (1) в поступательное, по существу, без использования механической опоры и перевода во взвешенное состояние движение внутри реакционной камеры, относительно реакционной камеры, для приведения поверхности объекта (1) в контакт с газообразным предшественником, при этом средства обеспечения поступательного движения включают средства перемещения объекта (1), по существу, через по меньшей мере одну отдельную область предшественника, находящуюся внутри реакционной камеры.