(57) Раскрыт способ получения гранулированного поликремния, используя реактор с псевдоожиженным слоем. Верхняя и нижняя область пространства в слое определены в качестве реакционной зоны и зоны нагревания, соответственно, с высотой выходного канала реакционного газа, выбираемого в качестве реперной высоты. В изобретении до максимального значения доведена производительность реактора с помощью обеспечения требуемой теплоты и устойчивого поддержания температуры реакции в реакционной зоне без ухудшения механической стабильности реактора с псевдоожиженным слоем. Этого достигают посредством электрического резистивного нагревания в зоне нагревания, где внутренний нагреватель устанавливают в области пространства между устройством, поставляющим реакционный газ, и внутренней стенкой реакторной трубы, таким образом нагревая псевдоожижающий газ и кремниевые частицы в зоне нагревания. Теплоту, произведенную в зоне нагревания, передают в реакционную зону с помощью поставки псевдоожижающего газа с такой скоростью, что кремниевые частицы могут быть перемешаны между реакционной зоной и зоной нагревания в непрерывном, псевдоожиженном состоянии.
|
Разделы: 