(57) 1. Плазменный агрегат (1), работающий при атмосферном давлении, содержащий первую и вторую пару вертикально расположенных параллельных разнесенных плоских электродов (36), причем каждая из пар электродов снабжена по меньшей мере одной диэлектрической пластинкой (31), смежной одному из электродов, а промежуток между диэлектрической пластинкой и другим электродом каждой из пар электродов образует первую и вторую области (25, 60) плазмы соответственно, отличающийся тем, что агрегат дополнительно содержит средство (70, 71, 72) для перемещения подложки последовательно через упомянутые первую и вторую области (25, 60) плазмы и распылитель (74), выполненный с возможностью введения распыленной жидкости или твердого материала для изготовления покрытия в одну из упомянутых первой или второй областей плазмы.
2. Агрегат по п.1, в котором подложка перемещается через упомянутые первую и вторую области плазмы посредством направляющих валиков и/или направляющих катушек (70, 71, 72).
3. Агрегат по любому из предшествующих пунктов, содержащий систему распределения жидкости для покрытия охлаждающей проводящей жидкостью внешней стороны электрода, при этом электрод (36), смежная диэлектрическая пластинка (31) и система (20, 26) распределения охлаждающей жидкости образуют электронный модуль.
4. Агрегат по п.3, в котором охлаждающей проводящей жидкостью является вода.
5. Агрегат по п.3 или 4, в котором электродный модуль выполнен в виде водонепроницаемой камеры (20, 20а, 26), имеющей сторону, сформированную диэлектрической пластинкой (31), с прикрепленным к ней на внутренней стороне камеры (20, 20а, 26) плоским электродом (36) вместе с впускным отверстием (14) жидкости и выпускным отверстием (15) жидкости.
6. Агрегат по любому из предшествующих пунктов, содержащийся во внешнем корпусе, в котором предусмотрена крышка (76) для предотвращения вытекания рабочего газа, необходимого, чтобы активировать плазму.
7. Агрегат по любому из предшествующих пунктов, в котором распылителем (74) является ультразвуковое сопло.
8. Агрегат по любому из предшествующих пунктов, в котором электрод (36) представляет собой диэлектрическую пластину с металлическим покрытием.
9. Агрегат по любому из предшествующих пунктов, в котором плазма представляет собой плазму тлеющего разряда атмосферного давления.
10. Агрегат по любому из предшествующих пунктов, в котором плазма генерируется вертикально ориентированными электродами (36), расположенными последовательно, а средство перемещения подложки выполнено с возможностью обеспечения одного прохождения, многократных прохождений для формирования многослойных покрытий.
11. Агрегат по любому из предшествующих пунктов, отличающийся тем, что он содержит одну или несколько дополнительных пар вертикально ориентированных электродов (36), расположенных перед или после упомянутой первой и второй пары электродов.
12. Способ обработки подложки плазмой атмосферного давления с использованием агрегата по любому из пп.1-11, в котором распыленный твердый или жидкий материал, формирующий покрытие, переносится из распылителя (74) в область (60) плазмы самотеком.
13. Способ по п.12, в котором распыленный твердый или жидкий материал покрытия вводится в область плазмы в отсутствие газа-носителя.
14. Способ по п.12 или 13, в котором подложка изготовлена из синтетических и/или натуральных волокон, тканых или нетканых волокон, порошка, силоксана, тканей, синтетических вискозных волокон и порошка или смеси органического полимерного материала и кремнийорганической добавки.
15. Способ обработки подложки плазмой атмосферного давления с использованием агрегата по любому из пп.1-11, в котором перемещают подложку вверх через первую область (25) плазмы, а вниз через вторую область (60) плазмы.
16. Способ по любому из пп.12-15, в котором первая область (25) плазмы, через которую проходит подложка, является очищающей плазмой, а вторая область (60) плазмы, через которую проходит подложка, используется для нанесения покрытия на подложку посредством распыленного жидкого или твердого материала, формирующего покрытие.
17. Способ по п.16, в котором подача самотеком распыленного жидкого или твердого материала, формирующего покрытие, во вторую область (60) плазмы предотвращает перенос упомянутого распыленного жидкого или твердого материала, формирующего покрытие, в первую область (25) плазмы.
18. Способ по любому из пп.12-17, в котором при использовании температура агрегата поддерживается в диапазоне от комнатной температуры до температуры 70°С.
19. Обработанная подложка, полученная способом по любому из пп.12-18.
20. Подложка по п.19, содержащая покрытие на основе диоксида кремния, полученное в окислительной атмосфере для придания подложке дополнительных барьерных и/или диффузионных свойств, и/или адгезионных свойств.
21. Подложка по п.19, содержащая галоген-функциональное органическое или силоксановое покрытие для повышения гидрофобности, олеофобности, стойкости к топливу и почве, улучшения свойств фильтрации газа и жидкости и/или отталкивающих свойств подложки.
22. Подложка по п.19, содержащая полидиметилсилоксановое покрытие для повышения водостойкости и водоотталкивающих свойств подложки и/или для повышения ощущения мягкости подложки.
23. Подложка по п.19, содержащая покрытие на основе полиакриловой кислоты для улучшения смачиваемости водой, биосовместимости или адгезионности подложки или обеспечения возможности ее использования как части слоистой структуры.
24. Подложка по п.19, содержащая покрытие со включенными коллоидными металлическими частицами для придания подложке поверхностной проводимости и/или для улучшения ее оптических свойств.
25. Подложка по п.19, содержащая покрытие с кислыми или основными функциональными возможностями для обеспечения управляемого показателя рН подложки и/или управляемого взаимодействия подложки с биологически важными молекулами, такими как аминокислоты и протеины.
| 
