(11) Номер евразийского патента | 035334 |
Дата регистрации в Реестре евразийских патентов | 2020.05.27 |
(21) Номер евразийской заявки | 201790268 |
(22) Дата подачи евразийской заявки | 2015.08.05 |
(51) Индексы Международной патентной классификации |
C23C 14/35 (2006.01)
C23C 14/56 (2006.01)
H01J 37/34 (2006.01) |
(43)(13) Дата публикации евразийской заявки, код вида документа | A1 2017.06.30 Бюллетень № 06 тит.лист, описание
|
(45)(13) Дата публикации евразийского патента, код вида документа | B1 2020.05.28 Бюллетень № 05 тит.лист, описание
|
(31) Номер заявки, на основании которой испрашивается приоритет | 102014011877.0
|
(32) Дата подачи заявки, на основании которой испрашивается приоритет | 2014.08.11
|
(33) Код страны, идентифицирующий ведомство или организацию, которая присвоила номер заявки, на основании которой испрашивается приоритет | DE
|
(86) Номер и дата подачи международной заявки | DE2015/000397 |
(87) Номер и дата публикации международной заявки | 2016/023533 2016.02.18 |
(71) Сведения о заявителе(ях) | ГРЕНЦЕБАХ МАШИНЕНБАУ ГМБХ (DE) |
(72) Сведения об изобретателе(ях) | Клайдайтер Герд, Криш Томас, Фиуковски Йорг, Гавер Олаф (DE) |
(73) Сведения о патентовладельце(ах) | ГРЕНЦЕБАХ МАШИНЕНБАУ ГМБХ (DE) |
(54) Название изобретения | ВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ И СПОСОБ НАНЕСЕНИЯ ПОКРЫТИЙ |