Eurasian Publication Server

Eurasian Application for Invention № 201800373

BIBLIOGRAPHIC DATA

(11) Document Number

201800373

(21) Application Number

201800373

(22) Filling Date

2018.05.04

(51) IPC

C23C 14/56 (2006.01)
C23C 14/50 (2006.01)

(43)(13) Application Publication Date(s), Kind Code(s)

A1 2019.11.29 Issue No 11 title, specification

(96) Filing Data of the Regional Application, i.e., Application Filing Date, Application Number, Country Code

2018/EA/0032 (BY) 2018.05.04

(71) Applicant(s)

ОБЩЕСТВО С ОГРАНИЧЕННОЙ ОТВЕТСТВЕННОСТЬЮ "ИЗОВАК ТЕХНОЛОГИИ" (BY)

(72) Inventor(s)

Ширипов Владимир Яковлевич, Хохлов Евгений Александрович, Марышев Сергей Павлович (BY)

(54) Title

ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ ЛИНИЯ ДЛЯ ФОРМИРОВАНИЯ ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ ПОКРЫТИЙ В ВАКУУМЕ (ВАРИАНТЫ)

ABSTRACT [ENG]
(57) Предлагаемые варианты выполнения технологических линий позволяют значительно повысить производительность оборудования, достичь высокого качества тонкопленочных покрытий с большим количеством слоев и обеспечить одновременное формирование покрытий на обеих сторонах подложек.
Zoom in

Back New search
'; $("body").css({"cursor": "progress"}); $("div#"+fr).css({"width": "50%","flex":"0 0 50%"}); $("div#tr"+fr).append(loadtxt); $("div#tr"+fr).show(); } //$("div#trformula").hide(); //console.log($('#formula').html()); //getTranslateFromService("ru-en", $('#formula').html());